日本SUNX晶圓定位傳感器結(jié)構(gòu)小巧、輕盈型

工作原理：
利用反射光量檢測時，反射光量和晶圓的邊緣形狀會影響檢測結(jié)果。
M-DW1的受光部使用2段受光元件，通過反射光位置而非反射光量進行檢測。因此，受晶圓厚度和反射光量的影響較小。
基于2段受光元件的高精度位置檢測
M-DW1以反射光的位置來檢測，不管反射光量的多少都能檢測出玻璃晶圓。
氮化膜具有可吸收特定波長光的性質(zhì)，吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。
因此，對于使用單波長激光的傳感器，可能會因光全被吸收而無法檢測。

尺寸圖

• 單位mm

日本SUNX晶圓定位傳感器結(jié)構(gòu)小巧、輕盈型

詳細(xì)資料：
而LED光源的光具有定波長段，即使氮化膜晶圓也可準(zhǔn)確檢測。
實現(xiàn)0.5ms的高速反應(yīng)。兼顧高速反應(yīng)性和高精度。
基于2段受光元件的高精度位置檢測
可從四個方向引出電纜
傳感器可以從正前方、右側(cè)、左側(cè)、下方四個方向引出電纜?？筛鶕?jù)傳感器的設(shè)置情況靈活調(diào)節(jié)。
可從四個方向引出電纜
內(nèi)置放大器的小巧、輕盈型
尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進深50mm，約為75g的小巧、輕盈型。
以往使用激光的激光式定位傳感器，激光會從加載口內(nèi)側(cè)穿過FOUP直射操作人員，十分危險。
M-DW1成功使用LED光源。確保操作人員安全。