日本CKD小型流量感測器AC4000-03D
簡要描述:日本CKD小型流量感測器AC4000-03D情況。可處理的流量量程大。內(nèi)嵌速控器型(特別訂購品)可以輕松對流量進行控制。可處理的流量量程大。
產(chǎn)品型號: -
所屬分類:日本喜開理CKD
更新時間:2024-08-23
廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
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日本CKD小型流量感測器AC4000-03D
各種泄露檢查
針孔檢查
離子化器的吹掃氣體確認
焊接氣體的管理
吹掃氣體的流量管理
落座確認
吸附確認
可以直接測量泄露流
量。即便是微壓,由于
輸出與針孔成正比,
因此也可以用來判斷
有否故障、確認狀態(tài)
①與①與壓力感測器不相上下的高速應答(應答由管線的內(nèi)容積、壓力等決定)
②由于是通過流量探測的,因此不存在因壓力的變化而引起的調(diào)節(jié)、誤檢情形。
③可以探測出噴嘴或過濾器的孔口堵塞。
④通過流量探測,可以管理傾斜吸附等吸附錯誤。
利用壓力感測器時有時差壓過小而無法判別,此
時根據(jù)流量可以準確地進行判別。
激光激發(fā)器、半導體制造裝置的N2氣體管理
處置的流量量程大。
內(nèi)嵌速控器型(特別訂購品)可以
輕松對流量進行控制。
各種泄露檢查
離子化器的流量管理
焊接氬、碳酸氣的流量管理
涂裝氣體的流量管理
吹掃氣體的流量管理
吸附確認
與壓力感測器相比較(噴嘴直徑為Ф0.3、真空壓力為-70kPa時)
日本CKD小型流量感測器AC4000-03D