用于NC數(shù)控機床海德漢HEIDENHAIN光柵尺
海德漢封閉式直線光柵尺的鋁外殼保 護光柵尺、讀數(shù)頭和導(dǎo)軌,避免其受灰 塵、切屑和切削液的影響。 自動向下壓的 彈性密封條保持外殼密封。
讀數(shù)頭沿光柵尺的小摩擦力導(dǎo)軌運動。 讀 數(shù)頭通過一個聯(lián)軸器與外部安裝架連接, 聯(lián)軸器可以補償光柵尺與機床導(dǎo)軌間不可 避免的對正誤差。
敞開式光柵尺與讀數(shù)頭和光柵尺或鋼帶間沒有機械接觸。這些光柵尺的典型應(yīng)用包括:測量機、比較儀和其它長度計量精密設(shè)備以及生產(chǎn)和測量設(shè)備,例如用在半導(dǎo)體工業(yè)中。
增量式光柵尺決定當(dāng)前位置的方式是由原點開始數(shù)測量步距或細分電路的計數(shù)信號數(shù)量。海德漢的增量式光柵尺帶有參考點,開機時必須執(zhí)行參考點回零,操作非常簡單、快捷。
絕對式光柵尺無需執(zhí)行參考點回零操作就能直接提供當(dāng)前位置值。光柵尺的絕對位置值通過EnDat接口或其它串行接口傳輸。
海德漢光學(xué)掃描的直線光柵尺或編碼器的
測量基準(zhǔn)都是周期刻線-光柵。
這些光柵刻在玻璃或鋼材基體上。對于大
長度的光柵尺,用鋼帶作為光柵尺基體。
海德漢公司用以下特別開發(fā)的光刻工藝制
造精密光柵。
• METALLUR:抗污染的鍍金層金屬柵
線;典型柵距:40 μm
• DIADUR:玻璃基體的超硬鉻柵線(典
型柵距:20 μm)或玻璃基體的三維鉻
線格柵(典型柵距:8 μm)
• SUPRADUR相位光柵:光學(xué)三維平面格
柵;強抗污能力;典型柵距:不超過
8 μm
• OPTODUR相位光柵:光學(xué)三維平面格
柵,超高反光性能;典型柵距:不超過
2 μm
除極小柵距外,由該工藝刻制的光柵擁有
優(yōu)異的邊緣清晰度和均勻性。結(jié)合光電掃
描法,邊緣清晰的刻線是輸出高質(zhì)量信號的關(guān)鍵。
用于NC數(shù)控機床海德漢HEIDENHAIN光柵尺